合肥长鑫再建2座DRAM晶圆厂
光刻人的世界
今天
随着中国芯片国产化进程的加快,长鑫存储技术有限公司(CXMT)公布了最新的
DRAM
技术路线图,不仅将采用19nm
工艺
生产
4G
b和8Gb
DDR
4
,预计到2020年底,其
10nm
级
工艺
技术的产能可达到12万片
晶圆
,还计划再建两座DRAM 晶圆厂。
从长鑫存储
DRAM
技术发展的路线规划来看,其研发的产品线包括
DDR
4
、
LPDDR
4X、
DDR
5
以及 LPDDR5、
GDDR
6,虽然未公布具体时间节点,但产品发展线路与
三星
、
SK海力士
、
美光
等国际大厂
DRAM
发展大体一致。
全球主要的
DRAM
厂商
三星
、
SK海力士
、
美光
等目前采用的是1Znm
DRAM
技术。
其中
三星
在2019年3月宣布将在下半年采用1Znm
工艺
技术量产8Gb
DDR
4
,生产率提高20%以上;
美光
也在8月份大规模生产1Znm 1
6G
b
DDR4
产品,SK Hynix也采用第三代
10nm
级(1znm)
工艺
开发出了1
6G
bit
DDR
4。
目前长鑫存储正在使用其 10G1 技术(19 nm
工艺
)来制造
4G
b 和 8Gb
DDR4
存储器
芯片,目标在 2020 年第一季度将其商业化并投放市场,该技术将用于在 2020下半年制造的
LPDDR
4X
存储器
。
虽然在
工艺
上不及国际
DRAM
原厂,但差距在一步一步的缩小。
长鑫存储还规划将采用10G3(1
7nm
工艺
)发展
DDR4
、
LPDDR
4X、
DDR
5
以及 LPDDR5产品,采用10G5
工艺
推出DDR5、LPDDR5以及
GDDR
6产品,该技术是使用 HKMG 和气隙位线技术,并在未来导入使用柱状
电容器
、全能栅极晶体管以及
极紫外光刻
(
EUV
)
工艺
。
在
DRAM
产能方面,长鑫存储目前拥有3000多名员工,下设一座拥有 65000㎡ 洁
净室
的
晶圆
厂,目前月产能约为2万片晶圆,将利用10G1技术将月产能提高到4万片晶圆,规划到2020年底,其
10nm
级
工艺
技术的
晶圆
产能将达12 万片(12 英寸),可媲美SK
海力士
在中国无锡的工厂。
长鑫存储还计划再建两座
DRAM
晶圆
厂。
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转自:芯通社
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