编者按：硅纳米线(silicon nanowires，SiNWs)作为一维纳米材料的典型代表，除具有半导体所具有的特殊性质，还显示出不同于体硅材料的场发射、热导率及可见光致发光等物理性质，在纳米电子器件、光电子器件以及新能源等方面具有巨大的潜在应用价值。硅纳米线晶体管(SNWT)与传统CMOS工艺兼容性良好,能够有效抑制短沟效应,并可以实现三维集成,因此,被认为是最具有潜力应用在未来10nm以下沟长的集成电路器件结构之一。

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