长江存储供应链：有哪些国产设备与材料供应商？

杨绍辉等 摩尔芯闻 今天

来源：内容来自「半导体设备与材料」，谢谢。



【国产半导体设备供应商】


【北方华创】

累计获得长江存储至少56台工艺设备订单，包括PVD、刻蚀、清洗、退火、氧化炉、LPCVD等多类产品。

（1）PVD：6台订单，包括3台 Al pad PVD、3台Cu BS PVD。其中，公司在该客户的Al pad PVD设备采购中占100%，在该客户的Cu BS PVD占到21%，打破全球PVD市场被Applied Materials垄断的格局，且在Cu BS PVD获得重大突破。

（2）刻蚀：2017年以来北方华创累计在3D NAND客户获得9台硅基刻蚀设备订单，包括8台硅槽刻蚀、1台多晶硅等离子蚀刻设备。其中，公司在该客户的硅槽刻蚀设备采购中占50%，在该客户的多晶硅等离子蚀刻占10%，打破全球硅基刻蚀市场被Lam Research等垄断的格局。

（3）热处理设备：累计中标39台热处理设备订单，占热处理总采购数量的35%，仅次于第一供应商TEL。但从2019年下半年至今的热处理采购数据看，北方华创的份额已达58%，高于上一轮41%的份额。

（资料来源：参考研究报告《【北方华创】研究：PVD新产品、新工艺获突破，多个产品的市占率上升》）

【中微半导体】

根据中国国际招标网，中微半导体于1月2日中标长江存储9台介质刻蚀设备，公司自2017年以来累计中标38台介质刻蚀设备。

中微在长江存储的介质刻蚀设备采购中的份额持续上升。根据中国国际招标网，2019年10月至今，中微半导体累计中标长江存储刻蚀设备12台，占长江存储介质设备采购量31%的份额，仅次于第一大供应商Lam Research 54%的份额；而2017年8月-2018年4月、2018年6月-2019年7月的两个时间段内，中微半导体分别中标5台、21台刻蚀设备，所占份额依次是10%、30%。2017年以来中微累计中标38台，占长江存储介质刻蚀设备所有采购量的24%。若按自然年份计算，2017-2020年中微半导体历年介质刻蚀的中标份额依次是12%、34%、19%、50%。

中微公司不仅在介质刻蚀领域内取得本体存储厂商的第二大介质刻蚀设备供应商地位，且公司已入股量测设备供应商睿励（上海）科学仪器，持股国内CVD供应商沈阳拓荆，成为除光刻光、离子注入机之外的关键工艺设备平台。

  （资料来源：参考研究报告《【中微公司】研究：占3D NAND客户介质刻蚀份额为30%，至少可实现2/3的介质刻蚀工艺产业化》）

【盛美半导体】

专注于清洗设备，累计中标18台长江存储清洗设备订单，市场份额约为20%，单片清洗的份额达到30%。主要竞争对手是Screen、Lam Research、TEL。
（资料来源：中国国际招标网）
         
【精测电子】

专注于测试与量测设备，根据中国国际招标网，1月17日控股子公司上海精测半导体技术有限公司中标长江存储的3台集成式膜厚光学关键尺寸量测仪，在长江存储的膜厚设备中的份额为4%，打破全球量测设备竞争格局并有望成为中国的KLA。2019年12月24日，子公司武汉精鸿电子技术有限公司中标长江存储的5台产品级高温老化测试机，打破这一产品被日本Advantest垄断的格局。

（资料来源：参考研究报告《【精测电子】首次中标3台长江存储膜厚设备，打破全球量测设备竞争格局并有望成为中国的KLA》）

【屹唐半导体】

累计中标46台长江存储的工艺设备，其中9台刻蚀设备，市占率4%，33台去胶设备，市占率97%，4台热处理设备，市占率3%。
（资料来源：中国国际招标网）

【中科飞测】

累计中标3台长江存储的工艺设备，包括2台光学表面三维形貌量测设备，1台晶圆表面凹陷检测系统，在量测设备中的市占率为1%。
（资料来源：中国国际招标网）

【睿励】

2017年中标2台介质薄膜测量设备，在长江存储的膜厚设备中的份额为3%。
（资料来源：中国国际招标网）

【沈阳拓荆】

累计中标6台CVD设备，市占率为2%，竞争对手包括Applied Materials、Lam Research、TEL、日立国际电气等。
（资料来源：中国国际招标网）

【芯源微】

前道I-line涂胶显影机已在国内知名晶圆厂长江存储上线进行工艺验证，可满足客户0.18μm技术节点加工工艺。
（资料来源：公司招股书）
 
【华海清科】

累计中标11台CMP设备，市占率为23%，另一家供应商Applied Materials的份额为77%。
（资料来源：中国国际招标网）

【至纯科技】

在12寸晶圆厂领域，公司的高纯工艺业务进入的国际一线厂商，以及国内一线晶圆厂长江存储等。
 （资料来源：公司定期报告）

【国产半导体材料供应商】

【上海新昇】

在12月13日召开的2019中国（珠海）集成电路产业高峰论坛上，上海新昇半导体科技有限公司CEO邱慈云表现，28nm逻辑、3D-NAND存储正片通过了长江存储的认证。
（资料来源：芯智讯）

【江丰电子】

根据公司公告，公司与长江存储有业务往来，且在2018年底成立的长江先进存储产业创新中心有限责任公司股权中，江丰电子也是参股股东之一，持股比例为2.3%。长江先进存储产业创新中心第一大股东是长江存储。
 （资料来源：公司公告）

【安集科技】

2018年，长江存储成为安集的第三大客户，贡献收入1891万元，在安集收入中占比7.63%。安集为长江存储供应化学机械抛光液、光刻胶去除剂等产品。
 （资料来源：公司公告）

【华特气体】

根据公司招股书，2019年公司向长江存储供应的某类产品，预计实现收入437.5万元，另有2018年通过长江存储认证的两类产品。2018年公司收入中来自长江存储1206万元，占比1.48%，是公司第4大客户，2019年上半年公司收入中来自长江存储1032万元，占比2.64%，是公司第2大客户。
 （资料来源：公司公告）

【雅克科技】

2019年11月，江苏雅克福瑞半导体科技有限公司21套化学液体注入补充供应系统。
（资料来源：中国国际招标网）

【晶瑞股份】

根据公司公告，其高纯度双氧水、高纯度氨水等产品技术标准都达到了10ppt水准，同时在实施电子级硫酸改扩建项目，获得华虹宏力、中芯国际、长江存储等国内知名半导体客户的采购或认证。
 （资料来源：公司公告）

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