【视频】反演光刻(Inverse Lithography Technology)

编者按:在视频中,D2S的首席产品官兼执行副总裁Leo Pang介绍了关于全芯片反演光刻技术(Inverse Lithography Technology)的速度改进、为什么在拼接大型芯片时如此关键以及这种方法与传统的光刻方法有何不同的内容。


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转自:Semiconductor Engineering
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