愈加受重视的边缘放置误差（EPE）
编者按：在小技术节点边缘放置误差（Edge placement error, EPE)越来越重要。EPE不仅与overlay有关还与局部的线宽均匀性（LCDU）有关。有数据表明，随技术节点的缩小，从7nm、5nm、到3nm（逻辑节点），LCDU在EPE中所占的比重分别是34%、40%、和50%。本文对如何改善EPE做了比较系统的介绍，值得一读。
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编者按：在小技术节点边缘放置误差（Edge placement error, EPE)越来越重要。EPE不仅与overlay有关还与局部的线宽均匀性（LCDU）有关。有数据表明，随技术节点的缩小，从7nm、5nm、到3nm（逻辑节点），LCDU在EPE中所占的比重分别是34%、40%、和50%。本文对如何改善EPE做了比较系统的介绍，值得一读。
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