凯世通低能大束流离子注入机将于年底量产

CINNO 今天



来源：芯智讯、CINNO综合整理



万业企业全资子公司凯世通的低能大束流集成电路离子注入机已搬进杭州湾洁净室，目前正在根据集成电路芯片客户工艺要求，进行离子注入晶圆验证阶段。

近日，上海凯世通半导体总经理陈克禄接受采访时表示，凯世通低能大束流离子注入机将于年底量产。


凯世通的设计理念很先进，着力研制16纳米及以下制程的FinFET集成电路离子注入机，并针对研制低能大束流离子注入机所需要解决的关键技术和技术难点，建立起相应的研发平台、相关核心关键技术及工艺的研究参数数据库和性能检测规范标准。

产品在低能和大束流等核心指标，特别是束流强度指标上，已达到或超过国外同类产品，因此可更好的降低单位成本消耗，满足国内集成电路行业实际应用。


此次低能大束流离子注入机成功迁机，标志着公司已具备先进制程的低能大束流离子注入整机工艺验证的能力，未来有望为全球先进制程逻辑、存储、5G射频、摄像头CIS、功率半导体等不同应用领域芯片客户提供离子注入工艺验证服务，提升客户晶圆制造能力与芯片性能。

面对集成电路需求持续扩大，设备市场快速上升，合则两利，共则双赢。2018年万业企业成功收购凯世通，通过资本注入，加快研发、加速迭代，一方面帮助凯世通实现新产品开发和产能扩充，进一步提升其离子注入机行业的竞争优势，另一方面万业企业以稀缺国产标的离子注入机为起点，逐步布局半导体设备，上市公司整体价值得以提升，产业与资本的协同共赢，形成1+1＞2的叠加效果。


万业企业表示，将继续背靠上市公司平台、国家大基金产业资源、大股东浦科投资的管理与布局能力，大力发展以离子注入机为代表的集成电路核心装备，切实加强上市公司的集成电路装备全产业链发展。依托国内国外两个市场，利用境内境外两种资源，以“外延并购 产业整合”双轮驱动，“集成装备 产业投资 产业园”三驾马车并驾齐驱，全面转型集成电路高端装备材料龙头，助力国产集成电路的整体发展。

- END -


更多商务合作，欢迎与小编联络！

扫码请备注：姓名+公司+职位

我是CINNO最强小编, 恭候您多时啦！


推荐阅读

点击文字即可阅读全文