中国电子级氢氟酸和光刻胶国产化正在推进。首届半导体湿电子化学品与电子气体论坛6.30上海召开！与会代表还将获赠送高清版Fab厂项目地图，以及亚化咨询《中国电子气体年度报告2019-2020》。

• 韩国被日本限制出口的氢氟酸和光刻胶，现今国内国产化情况几何？

• 半导体光刻胶亟待国产化突破！国产项目发展情况

• 中国电子级氢氟酸出口量增加，国产项目一览

• 半导体湿电子化学品与电子气体论坛将于2020年6月30日在上海召开。多氟多和汉拓光学将分别作出电子级氢氟酸及光刻胶相关的演讲，分享国产化的难题与发展机遇！

2020年6月18日消息，据国外媒体报道，韩国企业SK Materials日前表示，已启动用于半导体生产工序的氟化氢气体的量产，推进半导体材料本土化。SK Materials已在韩国东部的荣州市的工厂启动量产。该公司表示，实现量产的氟化氢气体达到被称为“5个9”的纯度，即99.999%，不过品质仍低于日本厂商产品。SK Materials还透露，三星电子和SK海力士将采用公司产品。

2019年7月起，日本对韩国进行含氟化氢、光刻胶在内的三种半导体材料进行出口限制，曾令包括韩国三星和SK海力士等世界级半导体产业巨头一时十分被动。

对比之下，中国电子级氢氟酸、光刻胶的国产化情况如何？

—  半导体光刻胶亟待国产化突破！国产项目发展情况

美国商务部将在2020年6月29日对中国半导体厂执行最新版的“出口管制条例”（EAR），最关键部分是扩大“军事最终用途”和“军事最终用户”的定义；日前美系材料大厂杜邦（DuPont）和设备大厂KLA也陆续发函给半导体厂进行尽职调查。

美国加强半导体关键材料和设备出口管制，继5月上旬应用材料和泛林半导体发函给客户后，杜邦与KLA也紧接着发函客户，强调出口管制最新规范的定义，并确认最终用途和用户证明，希望能在5月31日之前获得回覆。而杜邦正是半导体光刻胶供应商之一。

全球能够生产光刻胶的企业比较少，主要由美国Shipley（已被陶氏收购）、Futurrex；德国Microresist Technology、Allresist；日本东京应化、JSR、信越化学、住友化学；瑞士GES；韩国东进化学、东有精细化学；台湾长春集团、亚洲化学等，这些企业占据全球超过95%的市场份额。

2015-2017年全球晶圆制造用光刻胶市场竞争格局

来源：中金公司，亚化咨询

中国光刻胶生产技术与国际先进产品相差几代。现有的多家企业虽已能满足PCB用光刻胶的生产，并能供应部分FPD用光刻胶，但对于高端IC用光刻胶领域仍然停留在初级阶段。目前中国半导体行业光刻胶国产化率仅为5%，8英寸及以上半导体晶圆用产品本土化率不足1%，还有许多需要攻克的关键技术。

半导体光刻胶亟待国产化突破！

南大光电目前正处于光刻胶样品验证阶段，。公告显示，ArF光刻胶开发和产业化项目的生产线正在进行安装调试，预计在2020年10月完成调试。就在不久前的2020年4月16日，ASML型号为XT 1900的193nm ArFi光刻机正式搬入宁波南大光电有限公司，这台光刻机最高可以做到10nm

上海新阳已经购置了一台ASML 1400型号的二手光刻机，用于光刻胶的研发，该光刻机最高可以覆盖到55nm。

科华微有两个miniFab，有分辨率达到0.11um的ASML PAS5500/850扫描式曝光机、Nikon步进式曝光机、TEL ACT8涂胶显影一体机和Hitachi S9220 CDSEM等主流设备。

苏州瑞红承担并完成了国家02重大专项“i线光刻胶产品开发及产业化项目，i线光刻胶已向国内知名的半导体厂商供货，KrF光刻胶完成中试，达到了0.25-0.13um的技术要求，建成了中试示范线。

—  中国电子级氢氟酸出口量增加，国产项目一览

电子级氢氟酸主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗与腐蚀，也是信息技术产业集成电路及专用装备行业的关键基础化工材料之一。

来源：海关数据、亚化咨询

来源：海关数据、亚化咨询

亚化咨询整理了中国电子级氢氟酸进口数据，数据显示，自2019年日本宣布将对韩国进行包括电子级氢氟酸等三种半导体材料出口限制后，中国的电子级氢氟酸出口量迅速增加，并超过了进口量。国内企业如凯圣氟化学、滨化等电子级氢氟酸产品纷纷出口三星、SK海力士、LG等韩国半导体或显示企业。同时韩国半导体企业也加快推进中国相关原材料的测试及使用速度，国产电子级氢氟酸顺利打开了韩国市场大门。

然而，中国进口的电子级氢氟酸单价约为出口单价的两倍，这说明国产电子级氢氟酸产品在质量方面仍然与以日本等国为主的国外进口电子级氢氟酸产品存在较大的差距。实现半导体制造用电子级氢氟酸国产化依旧任重而道远。近年来，多家化工企业在努力切入电子级氢氟酸行业，原本已有产线的企业（如凯圣氟化学等）也在积极扩产电子级氢氟酸。

中国重点电子级氢氟酸项目一览：

1. 1.     滨化6000吨/年电子级氢氟酸项目

滨化6000吨/年电子级氢氟酸项目2016年开始建设，2017年建成投产，装有电子级氢氟酸装置1套。2019年，项目产能利用率为74.95%，预计2020年产能利用率将进一步提升。

产品方案

电子级氢氟酸产品指标

主要原辅料消耗情况

1. 2.     多氟多电子级氢氟酸项目

2020年5月，多氟多方面介绍，国内对UPSSS级（半导体级）电氢氟酸的进口替代逐步加快了步伐，市场需求不断增大，多氟多目前具备5000吨/年的半导体级氢氟酸，下半年将新增5000吨/年产能的半导体级氢氟酸项目将达产，届时总产能将达到1万吨/年。

2018年，多氟多电子级氢氟酸销量超过1000吨，比2017年增长了600%以上

此外，多氟多旗下子公司宁夏盈氟金和科技有限公司正在建设2万吨/年的电子级氢氟酸项目，项目自产无水氟化氢。2017年，项目开工奠基。

宁夏盈氟金和科技有限公司是由多氟多与宁夏金和化工有限公司合资创建的公司，成立于2017年6月，总资产3.86亿元，其中多氟多占股67%，宁夏金和化工有限公司占股33%。

产品方案

1. 3.     兴力电子电子级氢氟酸项目

兴发集团旗下湖北兴力电子材料有限公司在宜昌市投资建设3万吨/年电子级氢氟酸项目，项目计划总投资3.65亿元人民币，计划分两期建设2套氢氟酸装置，设计规模为1.5万吨×2，原料区共设置2个无水氟化氢储罐（总容积220m³）。项目预计2020年下半年一期投产。

产品方案

电子级氢氟酸产品指标

主要原辅料消耗情况（总规模）

1. 4.     浙江森田新材料2万吨/年电子级氢氟酸项目

浙江森田新材料（三美股份持股50%的参股公司）的蚀刻级氢氟酸项目，一期规划产能为2万吨，已按原计划于2019年底开始试车。

此外，三美股份旗下全资子公司东萤化工募投的高纯电子级氢氟酸项目，规划产能为1万吨，目前尚未投入资金建设。

1. 5.     凯圣氟化学1.2万吨/年电子级氢氟酸项目

中巨芯旗下凯圣氟化学ppt电子级氢氟酸产品已经进入国内8英寸及12英寸晶圆产线，2019年凯圣氟化学对已有的6000吨/年产能的电子级氢氟酸生产线进行技术改造，计划对电子级氢氟酸项目进行扩产，扩产后总产能达到1.2万吨/年，加速抢占电子级氢氟酸市场。2018年凯圣氟化学电子级氢氟酸产量为3463.55吨。

产品方案（改扩建后）

电子级氢氟酸产品指标

主要原辅料消耗情况（估算）

1. 6.     索尔维蓝天（衢州）3万吨电子级氢氟酸项目

2018年11月，衢州市生态环境局受理了索尔维蓝天（衢州）化学品有限公司30000吨/年电子级氢氟酸扩产项目环境影响评价文件许可申请材料索尔维蓝天（衢州）化学品有限公司计划投资2515.97万元，在位于衢州市绿色产业聚集区高新片区华阳路39号厂区内现有电子级氢氟酸车间，对当时已建的年产5000吨电子级氢氟酸装置进行技改扩建，使产能提升至15000吨/年，再新增一套相同规格的生产线，并使其达到年产15000吨/年，使电子级氢氟酸产品总规模达到30000吨/年，项目自产无水氢氟酸。

2017年产能情况

产品方案（改扩建后）

1. 7.     衢州南高峰化工有限公司3万吨电子级氢氟酸项目

衢州南高峰化工有限公司成立于2010年12月，是一家专注于无机氟产品生产的中型民营企业，主要产品有无水氟化氢、氢氟酸、氟化氢铵等，广泛应用于高端电子化学品、制冷剂、表面处理剂等行业。公司旗下有全资子公司江西中氟化工有限公司和控股子公司衢州北斗星化学新材料有限公司。2017年11月，衢州市生态环境局受理了衢州南高峰化工股份有限公司年产3万吨电子级氢氟酸项目环境影响评价文件许可申请材料。

产品方案

主要原辅料消耗情况（估算）

首届半导体湿电子化学品与电子气体论坛将于2020年6月30日在上海召开。会议由亚化咨询主办，多家龙头企业重点参与。目前拟定出席会议的单位包括杭州士兰微电子有限公司、SGS、SK海力士、巴斯夫、液化空气（中国）投资有限公司、安集微电子（上海）有限公司、空气化工产品气体生产（上海）有限公司、中巨芯科技有限公司、湖北兴福电子材料有限公司、江苏汉拓光学材料有限公司、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司、多氟多化工股份有限公司、青岛扶桑精制加工有限公司、北京八亿时空液晶科技股份有限公司、北京诚志永华显示科技有限公司、飞潮（上海）环境技术有限公司、福建德尔科技有限公司、福建省佑达环保材料有限公司、广东华特气体股份有限公司、湖北和远气体股份有限公司、惠州市阿特斯润滑技术有限公司、吉派流体控制技术（上海）有限公司、江苏奥首材料科技有限公司、江西高信有机化工有限公司、明尼苏达矿业制造特殊材料(上海)有限公司、密尔克卫化工供应链服务股份有限公司、山东滨化滨阳燃化有限公司、陕西高科环保科技有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海精泰机电系统工程有限公司、绿菱电子材料（天津）有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、成都科美特特种气体有限公司、深圳新宙邦科技股份有限公司、浙江森田新材料有限公司、苏州晶瑞化学股份有限公司、上海新阳半导体材料股份有限公司、宁波南大光电材料有限公司、上海思百吉仪器系统有限公司、上海微技术工业研究院、上海韵申新能源科技有限公司、上海众巍化学有限公司、深圳融科科技有限公司、深圳市松柏实业发展有限公司、卫利国际科贸（上海）有限公司、新慕明国际贸易（上海）有限公司、浙江建业微电子材料有限公司、住商国际物流有限公司等。

2020年6月30日星期二

◇  Fab厂对半导体材料的需求探究——士兰微

◇  全球半导体产业湿电子化学品与电子气体市场趋势——Linx Consulting LLC

◇  国内含氟电子材料的发展和思考——中巨芯科技

◇  超高纯硅溶胶介绍以及应用——青岛扶桑精制加工公司

◇ 电子级氢氟酸的机遇——多氟多化工

◇ 华特电子气体发展历程——广东华特气体

◇ 光刻胶国产化困境和突破（拟定标题）——汉拓光学

◇  电子化学品，抛光及研磨液回收及再生技术——深圳融科科技

◇  标题待定——湖北兴福电子

◇  更多演讲主题确认中

推广方案

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