Fab那些事儿——vendor

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来源:芯爵ChipLord   作者:功烨 

vendor也就是供应商的意思,广义上说Fab里的所有服务商都可以称作vendor,例如负责Fab绿化的园林工人等,狭义上讲Fab里机台设备的供应商才称作vendor,例如ASML光刻机的vendor等。

Fab里面不仅有自己的员工,还有很多vendor工程师,提供onsite的技术服务。按照工程师种类分,vendor可以分为:

(1)设备工程师
(2)工艺工程师
(3)研发工程师
(4)软件工程师
vendor的设备工程师和Fab的设备工程师区别不大,都是负责机台设备的稳定,持续工作。工艺工程师主要负责机台工艺,简单说就是负责机台的recipe建立,调试,升级等。vendor的技术工程师对设备工艺的理解更深,Fab的工程师对设备和工艺的的理解更广。这也好理解,Fab工程师负责的机台和工艺很全面,一个工程师可能要负责多种机台和工艺,所以理解的更广。术业有专攻,vendor工程师只负责自家机台和工艺,日积月累,自然理解更深刻。

vendor也有研发工程师,随着半导体技术的发展,设备也在更新升级,以满足更先进的制程。研发工程师就是负责设备的研发,不过研发工程师很少去客户的Fab,因为设备厂商也会有自己的无尘室作为研发使用。有硬件就会有相应的软件,vendor也有软件工程师,负责机台操作软件的研发和维护。不过这里的软件工程师和互联网的软件工程师差别很大,压力也会较小。

Fab中的vendor和互联网企业中的外包商不一样,据某乎爆料,互联网企业的外包商一般干的都是脏活,累活,甲方不会把外包商当人看起。Fab里的vendor工作压力相对较小,不用倒夜班,周末也很少加班,一般出了很大的问题,Fab的工程师解决不了才会找vendor帮忙。经常有Fab的工程跳槽去当vendor,可以想象vendor的待遇还是不错的。

接下来说说有哪些vendor,最著名的是荷兰的ASML,垄断全球80%光刻机市场,网传高端设备售价1亿欧元每台,而且每年数量有限,有钱也不一定买到,关键全球只有ASML能够生产EUV光刻机。当然ASML还有集束型设备外延反应器、垂直扩散炉、PECVD 反应器、原子层沉积设备等离子体增强原子层沉积PEALD设备等。顺便提一下,日本的尼康(没错,就是生产单反相机的)也有自己的光刻机,但技术没有ASML先进,目前的产品还停留在ArF和KrF光源,且售价也远低于ASML。

应用材料是一家美国老牌半导体设备供应商,产品横跨CVDPVD,etch,CMPRTP等除光刻机外几乎所有半导体制造设备,印象中是全球半导体设备供应商中排名第一。

泛林半导体是全球第二的半导体设备供应商,也是一家美国企业,主要生产薄膜沉积,干法刻蚀和清洗设备等。

东京电子是日本一流的半导体设备供应商,其生产的干法刻蚀设备性能稳定,在Fab中口碑甚佳。


科磊也是一家美国公司,主要为Fab提供缺陷检测设备良率管理解决方案等。光学电子束检测设备凭借高效,准确的性能占全球市场50%以上的份额。

国内的供应商技术最先进中的当属中微半导体,旗下干法刻蚀设备通过台积电5nm工艺验证MOCVD设备也在大量出货。

Fab里面还有很多vendor,这里不一一介绍。


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