重磅！中电四公司洁净室标杆工程积塔半导体上海临港新厂投产

CEFOC中电四公司 昨天

6月30日，由中电四公司参建的积塔半导体位于上海临港新片区的特色工艺生产线项目正式投产，标志着积塔半导体临港新厂由工程建设期正式迈入生产运营期。


上海积塔半导体特色工艺生产线建设项目鸟瞰图




上海积塔半导体特色工艺生产线建设项目专注于模拟电路、功率器件所需的特色生产工艺研发与制造，所生产的芯片广泛服务于汽车电子、工业控制、电源管理、智能终端，乃至轨道交通、智能电网等高端应用市场。全面建成后，将显著提升中国功率器件（IGBT）、电源管理和传感器等芯片的核心竞争力和规模化生产能力。






中电四公司作为该项目最重要的洁净室工程建设单位，负责项目的洁净包和公用动力包工程建设工作。主要负责洁净包所有F1 芯片生产厂房、L1 连廊（二层、三层）、M1 生产调度及研发厂房内二次更衣区域内的装修、主要机电系统以及C1动力站四层FMCS中控室和机柜室内的整体规划布置等相关工程。动力包含所有CUB1栋各楼层内的动力系统、给排水系统、空调通风系统、自动监控系统以及部分建筑及内装工事等。



洁净室厂区图




上海积塔半导体特色工艺生产线项目对中电四公司具有特殊的重要意义，项目启动之初，公司高度重视，将该项目列为标杆工程打造。建设期间，公司经营班子成员多次亲临现场，多名技术专家提供驻场支持，项目建设高峰期团队高达900余人不分昼夜、不辞辛劳、连续作战，从项目正式开工到首台光刻设备搬入，仅用时160天，再一次将中电四人的责任与担当体现的淋漓尽致。



2019年7月16日，项目正式开工
2019年10月15日，临时正压送风
2019年10月25日，FFU开始安装
2019年11月15日，正式供电、开始调试
2019年11月20日，进冰水、系统联调
2019年12月20日，调试完成
2019年12月22日，项目首台光刻设备搬入
2020年3月30日，项目正式投片

◤作为国内单层施工面积较大的半导体洁净室工程，公司又一重大洁净室空间建设项目，如何将项目建好？在以往项目建设经验的基础上，中电四公司面临着全新挑战。



洁净室回风夹道施工是重难点。F1栋回风夹道有外墙板、工艺风管、新风风管、电气桥架等施工内容，层高18m，施工交叉作业多、难度大，存在较高的施工安全风险。为此，施工前期，针对回风夹道施工，技术团队对各专业制定了详细的施工工序和节点要求，尽量减少交叉作业引起的进度影响；同时对两侧回风夹道施工区域进行统一规划，在L30层及L40层分段搭设作业平台，以便各队施工作业；并对回风道内风管采取地面预制拼装、整体吊装方案，分层固定，确保整体稳定性。

室外工艺排风烟囱及钢架施工是重难点。F1栋室外排风烟筒及钢架高35m，共13根，安装及吊装难度大，安装过程中存在安全隐患和风险。对此，施工团队采取风管及钢架地面预制、分段吊装固定，风管与钢架固定后统一吊装策略，有效解决了这一问题。

L40层静压箱隔墙安装是重难点。不同工艺区之间隔墙要贯穿顶地，而L40层段有横向truss桁架层穿越，隔墙安装既要美观又要保证隔墙气密性。对此项目采用分段分材料安装方案，上段采用50MM铝蜂窝板，下段穿truss层部分采用1.2mm镀锌钢板，便于封堵，利于现场美观。

CUB模组预制化施工是重难点。该项目CUB站房冷热水系统采用模组预制化安装，如何制定预制段方案及现场定位方案关系到预制化的成功与否，精准的保证预制化成功难度很大。对此，团队专业工程师和BIM工程师前期进行多次方案讨论，现场勘测定位，过程中由于现场施工存在较多误差导致很多预制件不满足方案使用，工程师及时调整方案，根据现场施工状况考量推敲，优化方案，最终保证施工进度，满足了最终设备接口精准搭接及设备正常运行。


◤同时，作为中电四公司优势产业板块，公司着力打造的标杆工程，在传统建设之上的创新，不可或缺。


技术要点彰显匠心。AMC(气态分子污染物) 精密仪器实时监测，精细化管理独具匠心；防微振更重精密性、环境振动设计更趋严格；BIM应用增加创新性实践，实施BIM+预制化施工、“全员BIM”活动；ESD防治设计更加缜密，严防静电干扰。

“颜色管理”赋予钢铁工程艺术美。该项目利用BIM可视化技术，对下夹层、机房等通常美观度较差的区域进行颜色管理。通过色彩搭配，细节把控，提高整体美观度，提供给业主更好的服务体验，给钢铁加上了一道靓丽色彩。

4D进度管控显现现代科学应用。该项目应用BIM模拟性，将模型与各专业进度绑定，实现专业可视化、形象化、数据化，使管理更加形象具体。

装配式安装开启工程建设2.0。该项目利用3D扫描建模技术，根据CUB实际情况建立精细化模型，加工区自动焊预制，试行装配式安装，节省动力机房安装时间25%以上，减少了现场焊接60%以上，为现场建设注入一抹亮色。

数字化管理赋高科技工程以信息化。该项目运用移动端安全质量管控APP，使安全质量管理实时化、数据化、工作成果量化。

中电四公司上海积塔项目经理李伟


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“施工过程中，除了BIM的应用与创新性实践之外，技术上我们还做了CFD气流模拟，对洁净室厂房的温湿度、洁净度进行了反复论证和调整，提高设计方案的可靠性；深化设计过程中建立了‘半导体工程中心族搭建标准’，将各构件进行1：1绘制保证预制的准确性，并形成标准族库，为后续BIM深化设计提供资源；项目管理中推行标准化洁净管制，实名制人脸识别，洁净管控的力度得到了进一步的提升，这些都得到了业主的高度认可。”中电四公司上海积塔半导体特色工艺生产线建设项目经理李伟高兴地说道。

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磨难下绽放“工程之花”





上海积塔半导体特色工艺生产线建设项目建设期间，受到了“利奇马”、“米娜”两次强台风袭击，遭遇新冠肺炎疫情突发，不可抗的灾难铸造了中电四公司的钢铁之师。平均年龄仅有27岁的项目执行团队不畏艰难、迎难而上，从大局出发，勇挑重担、令出行随，多次组织专项抢工，用实际行动配合业主做好抗灾的同时，一手抓疫情防控、一手抓项目建设，严格按照预定节点完成交付，为实现项目新线年内量产提供坚实的中电四力量。



由于在建设过程的突出表现，项目团队得到了业主、上级单位和公司的高度认可。

曾荣获业主单位颁发的“优秀项目经理奖”、“最佳贡献奖”和“卓越团队奖”；

因在抗击台风工作中的突出表现，在2019年8月防台防汛表彰活动中，业主方授予“先进团队”称号；

曾获中国系统公司颁发“2019年度中电系统项目管理奖”，曾获公司 “2019年度优秀项目执行团队奖”；

在2019年公司百日安全活动中被评为“最具活力项目奖”、“优秀安全管理项目奖”、“优秀项目总结奖”、“安全智慧项目奖”，在公司“300万安全工时”活动中荣获“先进团队”称号、“优秀安全管理团队奖”。





中电四公司作为国内电子工程行业的优势企业、半导体工程项目的一流建设者，在国内洁净室工程建设方面始终处于领先地位，陆续承担了中芯国际、长江存储、西安三星、成都英特尔、北方华创、燕东微电子、耐威科技、山东有研、泉州三安等多个国内大型高级别半导体工程项目的建设工作。截止目前，已累计建设了电子工程洁净厂房超过500万平米，累计参建了127条半导体厂房项目，平板显示市场客户覆盖率达96%以上，大规模集成电路制造（8寸、12寸）市场客户覆盖率40%。



未来，中电四公司将继续秉持

“求实、诚信、和谐、勤奋”的价值观,

坚持“以客为尊、服务领先”的经营理念，

以打造国内一流工程公司为目标，

创建精品工程！


出品丨宣传部


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