全球前十大半导体设备厂的奋进之路

摩尔芯闻 今天
作为一家以创新为主，技术领导型的公司，我们的技术一直能够将半导体的发展从很宽的线宽到现在慢慢往下走，我们公司起了一定的作用。去年我们进入全球前十大设备供应商，营业额超过12.8亿欧元（包含营业额和专利授权费用）。ASM国际（ASM International，下文简称“ASM”）中国区总经理徐来在SEMICON China 2020期间向半导体行业观察说道。


ASM公司1968年成立，至今已有52年。研发中心、产品线和工厂遍布全球7个国家，总部在荷兰。公司作为前道设备供应商，负责前段工艺，主要产品包含ALD、epi、PECVD、炉管等。

ASM最领先的产品是ALD。根据去年VSLI的数据，ASM的市场占有率占全球53%。ASM在ALD的产品非常多，有QCM、Dragon、Synergis、Pulsar 、Emerald，这五类产品在中国都有销售，中国ALD产品的销售额超过所有销售额的一半。


另外一个增长非常快的是epi，外延生长。外延应用很多，所有晶圆的第一层都要生长一层外延，国内有很多大硅片项目都离不开epi。另外一个是先进制程epi的量会越来越多，台湾客户epi的应用都要超过4层、5层、6层。

作为一家体量相对较小的公司，ASM可以在几大巨头之间生存，并成功跻身全球前十大半导体设备供应商，ASM的优势是什么?

对此，ASM中国区总经理徐来表示：

  • 首先我们有差异化的技术，不断进行技术更新，有全球好的销售网络和客户服务网络。
  • 由于技术领先，我们有很强的ALD和epi的能力，我们会继续在ALD、epi领域保持领先。同时我们会继续拓展PECVD和炉管的业务。
  • 我们和全球领先的集成电路制造商都有非常良好的合作，同时我们对自己的专利IP保护非常强，也有很强的IP储备。
  • 2019年我们的营业额增长了37%，达到11亿。包括我们和一些公司进行专利的授权所得到的专利授权费用，一共12.8亿。

据ASM中国区总经理徐来介绍，从2015年至今，员工数量从1597名增加到了2337名，到2019年底专利数量也达到了1959件，同比增长16%。19年底营收更是逆势上扬37%，达到11.25亿欧元（营业额）。关于专利，已经达到1959个，和2018年相比增长16%。


ASM在中国已经超过20年，总部在上海，我们在中国提供零配件、技术支持、工艺支持之类的服务，就像所有的设备供应商一样。

现在的先进封装已经成为主流，对设备商来说会有怎样的机遇或者挑战？

ASM中国区总经理徐来向半导体行业观察记者表示，我们涉及先进封装领域非常少，真正管封装的是ASMPT。先进封装很早就开始了，从2013、2014年大家讲了好多FinFET， 真正做得最好的现在还在中国台湾。对于我们来讲，我们的产品能够用于先进封装的是什么？是一个低温的CVD，因为到了封装最上面是金属，不能有太高的温度，我们的产品在那块有应用。

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