喜讯 | “北京市科学技术进步奖”一等奖!国产离子注入获的荣耀时刻

9月10日上午,北京市委、市政府隆重召开2019年度北京市科学技术奖励大会。由烁科中科信主导完成的“大束流离子注入装备及工艺研发”项目荣获“北京市科学技术进步奖”一等奖,项目第一完成人张丛博士代表团队参与了授奖。

该项目的突破,标志着市场占有率最大、应用最广泛的大束流离子注入关键技术已完成整机研制,实现量产应用,并为下一代掺杂工艺提供了创新解决办法,加速离子注入机产品的系列化和产业化发展,内生动力。


通过该项目攻关,烁科中科信获得授权发明专利56项,发布SCI论文23篇,EI论文10篇。实现直接经济效益近4.4亿元,间接经济效益31.7亿元。


关键核心技术是国之重器,下一步,烁科中科信将继续致力于提高关键核心技术创新能力,实现技术新突破,为加速推动国产离子注入机产业化进程积极贡献力量。(文/高晓琳)

责编/马进   策划/孙友芳