随着芯片制造工艺的持续微缩，光刻机在过去几十年里也有了跨越性的发展。现在正在被台积电等先进工厂采用的EUV光刻机，更是成为了大家关照的焦点。

究竟光刻机是怎么工作的？我们来看一下ASML的科普。

要了解其原理，首先从了解其外面的保护壳开始。