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9月8日上午，博士创芯说第三讲在线举行，清华大学精密仪器系博士后李浩应邀作题为“MEMS继电器与工程化研究”的报告。本次活动由清华大学微纳电子系、未来芯片技术高精尖创新中心以及复旦大学新一代集成电路技术集成攻关大平台联合主办，中心袁竹清博士主持。李浩博士在报告中首先介绍了继电器产业化发展现状。作为一种常见的具有电路控制功能的电气元件，继电器被广泛应用于消费电子、工业、国防等多个领域。有关数据显示，2019年全球继电器整体市场规模达到460亿元，并以4～5%左右的增速持续增长。
继电器产业化现状：市场规模及行业应用占比
此外，越来越多新应用领域的发展与新应用场景的出现，对继电器提出了新要求，如更小体积，更低功耗，更快响应，及更高可靠性等。MEMS继电器/开关成为未来MEMS技术研发的一个重要方向。
继电器产业化现状：应用领域及技术要求
报告随后介绍了MEMS继电器的关键技术及研究重点：包括进一步降低驱动电压，提高开关响应速度，降低开关接触电阻，提升负载能力，提升器件工作寿命，提升环境可靠性等。针对上述技术挑战，李浩博士展示了所在课题组的相关研究成果。通过优化继电器设计、芯片版图刻蚀环境、改善工艺参数等方法，MEMS继电器的结构成品率可以提升到95%以上，能够实现多种形式的封装，形成兼容现有指标体系的多款样机。实验结果显示，课题组研制的样机具有高低温耐受、抗机械冲击、抗电离辐射等良好的环境适应性，部分关键技术指标如开关速度、开关性能、负载能力等也要优于行业同类产品。报告还特别提到，开关触点材料是影响MEMS继电器寿命的关键因素，未来对触点材料的选择、材料特性、微观机理等进一步研究十分必要。
课题组MEMS继电器研究成果
在交流环节，与会人员围绕继电器的技术难点、工艺制备、性能优化等问题进行了深入讨论。
博士创『芯』说第三期完整视频回放
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