编者按：硅基光子技术已经成为各种应用场景中的使能技术，例如通讯，数据中心互连，LiDAR，光学传感和量子计算。但是，许多研究小组或Fabless公司都无法使用与CMOS技术兼容的硅光子器件的制造设施。多项目晶圆（MPW）服务将成为令他们满意的解决方案。光学邻近校正（OPC）在硅光子MPW平台中至关重要。本报告介绍了CUMEC的180 nm节点硅光子MPW平台上的OPC初步开发工作。

看完有什么感想？

请留言参与讨论！