显示术语:准分子激光退火(ELA)

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显示器中,ELA是主要用于创建LTPS电子电路层的激光工艺。通过使用ELA工艺将a-Si(非晶硅TFT转换为LTPS(低温多晶)TFT,可以显着提高TFT的性能。
TFT薄膜晶体管):一种基于电子电路,控制每个像素在显示器上发射R,G和B色的光。
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由于LTPS比传统的TFT-a-Si更为有序,因此电子可以轻松地通过电路。如果a-Si是蜿蜒,未铺砌且车道狭窄的道路,则可以将LTPS比作拥有许多车道的高速公路。如果电子迁移率高,则可以更轻松地移动功率和数据,因此LTPS在实现高分辨率,超薄边框和低功率显示方面非常有利。
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LTPS是通过用准分子激光器加工非晶硅制成的。如上图所示,当激光照射到a-Si层上并移动时,相应的区域具有规则的棋盘状颗粒组成,这被称为ELA(准分子激光退火工艺。如图所示,接收激光能量的无序阵列中的a-Si像左侧的Poly-Si(LTPS)一样结晶,形成单晶簇,并显着提高了TFT的性能。
来源:译自三星显示