显示术语:准分子激光退火(ELA)
OLEDindustry
4天前
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在
显示器
中,ELA是主要用于创建
LTPS
电子电路
层的
激光
工艺
。通过使用ELA工艺将a-Si(
非晶硅
)
TFT
转换为LTPS(低温多晶
硅
)TFT,可以显着提高TFT的性能。
※
TFT
(
薄膜晶体管
):一种基于
硅
的
电子电路
,控制每个像素在
显示器
上发射R,G和B色的光。
由于
LTPS
比传统的
TFT
-a-Si更为有序,因此电子可以轻松地通过电路。如果a-Si是蜿蜒,未铺砌且车道狭窄的道路,则可以将LTPS比作拥有许多车道的高速公路。如果
电子
迁移率
高,则可以更轻松地移动功率和数据,因此
LTPS
在实现高分辨率,超薄边框和低功率显示方面非常有利。
LTPS
是通过用
准分子激光
器加工
非晶硅
制成的。如上图所示,当
激光
照射到a-Si层上并移动时,相应的区域具有规则的棋盘状颗粒组成,这被称为ELA(准分子
激光
退火
)
工艺
。如图所示,接收
激光
能量的无序阵列中的a-Si像左侧的Poly-Si(
LTPS
)一样结晶,形成
单晶
硅
簇,并显着提高了
TFT
的性能。
来源:译自
三星
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