台积电首开先例将工业再生水导入制程

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台积电南科再生水厂预计今年 3 月完整主体建筑，并将启动试产，产出优于进水质量要求的再生水，成为全球首个导入工业再生水的先进晶圆厂。

台积电实践绿色制造，持续透过「节流」与「开源」并行方针，投入资源与人力强化用水效率，并打造高效且周密的水管理网络。

台积电去年启动「台积电南科再生水厂」建厂工程，为台湾第一座民营再生水厂，预计今年 3 月完成主体建筑后，安装系统、启动试产并持续调校，致力产出优于进水质量要求的再生水。

台积电持续降低自来水用水量，积极承诺并使用工业废水与民生污水的再生水，2015 年就开始发展再生水技术，于 2016 年打造全国第一条半导体工业再生水试产线，回收处理工业放流水。

台积电北中南部分厂区日前已开始执行以水车少量载水。台积电强调，并不是所有厂区都启动水车载水，仅部分厂区执行，且仅少量载水;一方面提高用水弹性，同时藉以熟悉相关作业程序，预先做好规画。

不仅是备水车，台积电进一步说，考虑水资源受限于地区的先天条件，为使台湾地区有限的水资源使用效益最大化，各厂区均透过调整设备制程用水量及改善废水回收系统，提升水回收率。

此外，也会持续强化非制程用水减量工作，例如减少空调用水、卫生设施使用回收水、管控外墙清洗与景观浇灌用水以及节约厨房用水等。

透过回收氢氟酸废水，并将回收水再精炼为工业用水，增加机台废水回收，台积电2020年新增措施节水量达328万公吨。

不过台积电认为，节水效益终将达到最大化，中长期计划则是增加供给面，将发展再生水技术，规划建置南科再生水厂，预期2021年再生水替代率可达30%以上。

另外，联电与世界先进指出，目前尚未执行水车买水，不过，皆已备妥水车，未来若有需要将可随时启动载水。

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