[图片]这期的光刻小讲堂要为各位开讲光刻机微影大神的另一种重要模组 -- 投影物镜模组（Projection lens）。[图片]上期小讲堂讲到，经由照明模组”加工”后的光，穿过掩模版上纳米宽度的图案（狭缝），产生衍射效应而后向外发散。投影物镜的功能就是至少把1阶衍射光收进物镜内...