中国离子注入机的新突破

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中国电科旗下电科装备研制成功的离子注入机。中国电科 供图
　　
17日从中国电子科技集团有限公司(中国电科)获悉，该集团旗下电科装备已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。

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中国电科旗下电科装备研制成功的离子注入机。中国电科 供图
　　
中国电科介绍说，离子注入机是芯片制造中的关键装备。电科装备连续突破大流强长寿命高品质离子源、高速晶圆传输等“卡脖子”关键技术，自主研制出中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28纳米，已累计形成核心发明专利413项，实现中国芯片制造领域全谱系离子注入机自主创新发展，将有效缓解中国芯片制造领域断链、短链难题。

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中国电科旗下电科装备科技人员对研制成功的离子注入机进行相关测试。中国电科 供图
　　
中国电科表示，下一步，电科装备将瞄准高端，紧跟先进工艺发展，加快推进适用于更先进工艺节点离子注入机的研发及产业化。
　　
据了解，中国电科是中国军工电子主力军、网信事业“国家队”、国家战略科技力量，拥有电子信息领域相对完备的科技创新体系。目前，中国电科旗下包括47家国家级研究院所、11家上市公司在内的企事业单位500余家，员工20余万名，并拥有35个国家级重点实验室、研究中心和创新中心。

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