一次了解半导体FAB的设备效率到底是什么情况

本次研讨会第一个部分主要是讲数据的收集和管理,我们会收集设备中发生的各种数据,然后利用这些数据来实现第二个部分,设备的监控,控制,分析,管理,我们称之为EES系统(Equipment Engineer System)。


在半导体FAB中,EES系统是FAB中必备的系统,其中包含了FDC/R2R/RMS/PMS/OEE 系统,其实这些系统都是从不同的角度来实现FAB中设备的精细化管理,FDC系统主要是设备生产过程的监控,收集设备中的Trace Data,通过有效的监控模型,来监控整个生产过程,从而防止大规模不良的发生R2R系统主要是通过对生产过程的实时调优,保证了生产工艺的稳定性,从而提升工艺CP/CPK RMS系统主要是针对设备的 Recipe实现了系统化管控,防止人为失误而造成的Recipe事故。


PMS系统就是管理FAB中设备PM和BM,怎么样提升PM的效率,该做PM的时候才做PM,实现设备CBM的管理,另外线边仓 Parts的管理,利用无线Pad实现无纸化的做业等等,都会在PMS中去实现,OEE系统主要是针对FAB各个设备的效率,瓶颈机台,设备Loss, 设备Tacttime,Alarm, 进行分析和管理,让工程师更加了解整个FAB的设备效率是什么情况,设备问题是出在哪里,这样就可以快速去解决。


BISTel 公司成立以来,一直做的产品,将近20年 BISTel从2009年开始研发基于大数据的各种应用系统,从基于大数据的不良分析系统,到更智能的设备生产过程的监控系统,再到设备健康度,使用寿命的预测系统,到最终智能决策辅助系统。


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演讲嘉宾
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汪锋

销售总监

汪先生是BISTel China Ltd.(BISTel中国)的高级总监。在20多年的时间里,负责管理该公司在大中华区的商业运作,并管理着一个全国销售团队。他还代表中国客户的声音,帮助监督创新型新设备工程和基于智能AI智能制造应用程序的引入,这些应用程序可以自动化并改善数十亿美元的半导体和平板制造工厂中的过程控制。汪先生在基于AI的新产品和应用程序开发中扮演着关键角色,以支持BISTel China客户和中国半导体制造业的增长。汪先生拥有韩国仁荷大学的计算机科学硕士学位。


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