中微公司：刻蚀机已进入国际客户5nm产线

今天午间，中微公司董事长尹志尧公开表示，该公司开发的等离子刻蚀设备，已经进入了某客户的5nm生产线，目前技术层面已经满足国际一线客户从65nm到14nm、7nm、5nm的生产要求。

消息称，中微公司开发的12英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户最先进的生产线上，并且5nm及以下芯片中关键步骤的加工能力已经具备。中微公司也在互动平台上证实了这一说法。官方称7nm、5nm都有先进的加工制造能力。

中微公司瞄准世界科技前沿，主要从事高端半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销售。该公司的刻蚀设备已应用于全球先进的7纳米和5纳米及其他先进的集成电路加工制造生产线及先进封装生产线。

中微公司作为设备公司，向客户提供可加工先进器件的设备，协助、配合客户实现先进器件的开发和生产。

等离子体刻蚀机是芯片制造中的一种关键设备，用来在芯片上进行微观雕刻，每个线条和深孔的加工精度都是头发丝直径的几千分之一到上万分之一，精度控制要求非常高。

中微公司 2 月披露的2020 年业绩快报显示，该公司 2020 年刻蚀设备收入为 12.89亿元，同比增长约 58.49%；由于市场原因，中微公司 2020年MOCVD设备收入为4.96亿元，同比下降约 34.47%。

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转自：摩尔芯闻

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