华为又有大动作!正式进入光刻机领域

vippon 52RD 昨天

6月2日,华为鸿蒙HarmonyOS 2发布,多数人目光都聚焦到了鸿蒙系统。当天,华为还有一个新动作,却并未引起太多的关注。


华为旗下的“哈勃投资”投资了中科院旗下一家光刻机企业-北京科益虹源光电技术公司。该公司由中科院微电子所控股,持股26.6%。

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启信宝显示,北京科益虹源光电技术公司注册资本6月2日发生了变化,注册资金从1.2亿元增加到2.02亿元,增长68%。主要变化是引入了2位股东,其中一位是华为旗下的哈勃投资,占股4.76%,成为科益虹源的第七大股东。

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据公开资料显示,科益虹源光电技术公司是国家02重大专项“准分子激光技术”成果的产业化载体,主要业务为光刻机中的三大核心技术之一的光源系统;科益虹源光也是国内第一、全球第三的193nm ArF准分子激光器企业。


2018年,科益虹源自主设计开发的国内首台高能准分子激光器,打破了国外厂商的长期垄断。


2020年4月,科益虹源集成电路光刻光源制造及服务基地项目开工建设。该项目总投资5亿元,建筑面积1.2万平方米,年产RS222型光刻准分子激光器、光刻用准分子激光器、405光纤耦合头等各类设备30台(套)。


科益虹源是国内主要的光刻机核心组件提供商。目前,科益虹源向上海微电子提供光源系统。有消息称,科益虹源将与上海微电子整机单位共同完成28nm 国产光刻机的集成工作。

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哈勃投资此次入股科益虹源,正是为了加码布局光刻机领域的研发而准备,其中的原因和影响也不言而喻。


去年年底,华为国内首个芯片厂房也在武汉封顶。项目建成后,将助力华为实现从芯片设计、芯片制造到封装测试的完整产业链。华为不只是个卖手机的。


光刻机位列芯片制造过程前道工艺七大设备之首(光刻机、刻蚀机、镀膜设备、量测设备、清洗机、离子注入、其他设备),其价值含量极大,在制造设备投资额中单项占比高达23%,技术要求极高,涉及精密光学、精密运动、高精度环境控制等多项先进技术。因此,光刻机也被誉为半导体工业皇冠上的明珠。


全球光刻机ASML、尼康、佳能等完全垄断,CR3高达99%。在当今局势下,实现光刻机的国产替代势在必行,战略意义重大。在02专项光刻机项目中,定于2020年12月验收的193纳米ArF浸没式DUV光刻机,制程工艺为28纳米。28nm作为当前关键技术节点的性能和技术优势,光刻机国产替代将迎来新的发展阶段。


华为进入光刻机领域内,必然会加速国内光刻机技术发展。未来在国内市场上,在上海微电子借助科益虹源的光源技术,推出更先进的光刻机之后,必将对ASML的地位产生新的冲击。