近日，国内半导体设备厂商至纯科技在互动平台表示，目前至纯科技28nm节点全部湿法工艺设备已认证完毕。

至纯科技表示，国内目前有三家在湿法工艺设备端提供中高阶湿法制程设备，分别是至纯科技、北方华创和盛美，国内厂商的市场占比在逐年上升中。

除了28nm工艺节点之外，上海证券报的报道中还指出，至纯科技14nm及7nm工艺预计2022年可供客户验证，客户包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、台湾力晶等行业领先者。

△至纯科技董事长蒋渊 

资料显示，至纯科技成立于2000年，主营业务为高纯工艺系统的研发、生产和销售；半导体湿法清洗设备研发、生产和销售；光传感应用及相关光学元器件的研发、生产和销售。

财报显示，至纯科技2020年湿法设备出货量超过30台，新增订单5.3亿元，增长211.8%。

编辑：芯智讯-林子