7月28日-7月30日

上海市浦东新区金科路 2889 弄长泰广场

（金科路与祖冲之路交岔口）

作为半导体工业皇冠上的明珠，光刻机代表着人类文明的智慧结晶。ASML 三十多年里在瑞利判据的指引下想要不断突破的，就是对光的理解和“驾驭”。

现在，为了让更多人深入了解光刻机，ASML 专门打造了一座“追光实验室”等你来体验。

在这个特殊的实验室里面，你不仅可以沉浸式地了解光刻机内部的工作原理，还有丰富的 AR 互动深入了解光刻机的内部及其背后的技术原理，体验不断探索极限的科技魅力。

7月28日中午12点起，ASML 的“追光实验室”将正式对外开放，快来挑战所有关卡，领取你的专属打卡吧~

ASML 通过多年来坚持不懈的科学探索精神、活跃灵动的创造力以及不断革新光刻技术，实现了许多里程碑式的突破，将更精密的光刻设备带进现实。在这里，你可以通过 AR 技术进入 ASML 光刻机的内部，探索光源走过的每一个步骤，领略 ASML 是如何挑战瑞利判据，和摩尔定律赛跑，实现更小的线宽，在纳米世界里做极限的攀登者。

当传统的干式光刻机日趋极限，线宽如何继续缩小成为当时业内担忧的发展瓶颈。ASML 成功地推出了浸润式光刻机，用折射率大于 1 的水作为媒介，实现物镜数值孔径的增大，帮助最小分辨率得到提升，开辟了半导体行业技术的新世界。

我们在这里准备了一个互动小游戏，让你可以由浅入深地了解“浸润式技术”的发展轨迹和背后用到的光学原理。

晶圆在进入光刻流程前要先进行测量和对准，此前的光刻机只有一个工作台，测量、对准、光刻等所有流程都在这一个工作台上完成。而 ASML 推出的双工作台系统（TWINSCAN system），即一个工作台在给晶圆进行曝光的同时，另一工作台可对下一片需曝光的晶圆进行测量，实现测量和曝光的无缝衔接，极大地提高了生产效率。

在这一环节，你可以通过第二个互动游戏与TWINSCAN来场比试，拭目以待吧~

尖端的光刻技术不仅是人类构筑现代文明的关键，运用现代技术与古老艺术之间搭建沟通之桥，也是 ASML 一直坚持的使命。二者融合交汇产生的魔法反应让人神往。

快来“追光实验室”，了解 ASML 和梵高之间的渊源。

除此之外，你还能听到 ASML 员工的真实心声，体验 ASML 始终秉持的“3C”文化价值观，从而全方位地感受这家关怀包容又充满活力企业的独特魅力。最后，千万别忘了和梵高的经典画作合影哦！