技术文章 | 射频探针简史和类型

在射频探针出现之前，由于没有一种能够在无需安装或贴合状态下对单片微波集成电路(MMIC)装置进行测试的简便方法，因此测试过程常常使得电路完整性遭到破坏，引发各种问题。

早期的射频探针使用的是共面陶瓷材料，而陶瓷不能太弯曲，因而压触的弹性范围并不大，同时支持的射频频率也较低，第一个探针仅覆盖到18 GHz。

在仅仅三十年的时间里，射频探针技术便取得了长足的进步，从低频测量到适用多种应用场合的商用方案：如在110GHz高频和高温环境进行阻抗匹配，多端口，差分和混合信号的测量装置，连续波模式中直到60W的高功率测量，以及直到1.1 THz的太赫兹应用，都能见到射频探针的身影。

80年代初，Tektronix发布了第一款商用的射频探针TMP9600和蓝宝石衬底校准件CAL96；随后，Eric Strid和Reed Gleason离开Tektronix，并于1983年创立Cascade Microtech。在随后的数年间，两家公司不断地推出类似性能的射频探针，直至Tektronix公司于90年代初最终退出了圆晶片探针这个业务。至此，Cascade Microtech也凭借着与Hewlett Packard良好的关系，奠定了行业领导地位。

图1(a) 第一款商用的蓝宝石衬底校准件CAL96

图1(b) Tektronix公司的RF探针TMP9600

图1(c) Cascade Microtech公司的WPH探针

1988年，GGB公司申请了基于微同轴电缆的射频探针专利技术，从此，开始了与Cascade Microtech在射频探针领域的竞争。随后于1993年在IEEE IMS发布了W波段的射频探针；在1999年，它们的探针达到了220GHz，在2006年又进一步扩展到325GHz，在2012年又达到了500GHz。加上与供应商的密切合作，如Karl Suss(后来的SUSS MicroTech)，GGB工业公司成为全世界射频市场上最有影响力的公司之一。

在2009-2011年间，两个新成员进入了成熟的探针市场：带有微机械加工的探针厂家DMPI 瞄准的是新兴的亚太赫兹(sub-THz)市场。来自中国台湾的Allstron公司为110GHz以下的应用提供了并不昂贵的探针。