光刻人的世界

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莱茵轶事
光之谷-imec的逻辑技术路线图 原创

00尽管芯片制造商正在不断推进技术的发展，但是在前端(FEOL)，中间(MOL)以及后端(BEOL)上触点(contacts)以及互连中与节点时间表同步缩放晶体管变得极具挑战。在本文中，Imec CMOS器件技术总监Naoto Horiguchi和纳米互连项目总监Zsolt To...

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