核心零部件是国内半导体设备发展中不可忽视的环节

托伦斯半导体设备启东有限公司副总经理李昌哲以《后疫情时代: 从美日韩两岸看关键零部件国产化的机运》为主题发表了演讲。他表示：“自全球贸易关系发生变化以来，半导体行业在经历了2019年的低迷期后，在2020年又遭遇了疫情，即使是在这样的情况下，国内半导体行业仍保持着巨大的活力。去年在半导体全球总产值突破四千多亿，其中1400亿左右运往国内，全套设备国产化大概压缩了5%。今年预计增长20%，到2026年会突破一千亿美元大关，以前大家看重设备，这一两年很多零部件卡脖子了，于是，也为半导体设备零部件的国产化催生了一个很大的机遇。”

北京慧摩森电子系统技术有限公司总经理牛怀新以《线性驱动器在微纳米精密控制的应用》为主题发表了演讲。他表示：“控制是我们整个产线设备必须需要使用的一个关键零部件，而线性零部件又比较特殊。以线性驱动器为例，该零件具有一定的特色，一是因为没有AD转换过程，电流环带宽高达20KH2以上，适用于特殊的领域，相比普通PWM开关型伺服驱动器，其特点是驱动平滑，无力矩波纹，无开磁开关噪音，高带宽，并可驱动超小电感量的电机。特别适用于要低噪音，安静、对于EMI、RFI电磁辐射敏感超过和超平滑运动的应用。线性驱动器可以大大减少电机的发热，延长有刷电机的电刷寿命。另外丰富而完善的SOA功能，用户可方便的设定电流极限、电压的极限，可以动态增益伺服补偿，偏置量等。”

上海汉钟真空技术有限公司副总经理晋能龙以《汉钟真空泵介绍及市场定位》为主题发表了演讲。他表示：“真空泵在半导体领域是一个非常重要的零部件，真空泵年销售额大概是20亿美金，在中国的市场占到三分之一，预计40亿人民币左右这样一个市场份额。这个市场份额相对半导体设备来说，还是偏小，但在真空泵这个领域里面也算是一个非常有潜力的市场。从应用角度来看，汉钟的真空泵可以应用在生产加工的环节里面，可被用于前端拉晶一直到CMP场景。”

飞潮（上海）环境技术有限公司销售经理张培以《过滤技术在半导体行业中的应用及控制要点》为主题发表了演讲。他表示：“过滤产品在半导体芯片发展起着至关重要的作用，电子气体过滤，液体过滤，空气过滤是半导体产业的三大主要过滤领域。杂质的产生将会对器件良品率产生影响，这些杂质一类是金属离子，二是非金属离子。我们做过滤的目的，是确保整个生产工艺流程稳定，使设备寿命延长，减少生产缺陷，这是我们最终的目标。”

昆山新莱洁净应用材料股份有限公司总监范志旻以《UHP 超高纯气体系统助力半导体设备核心部件配套》为主题发表了演讲。他表示：“半导体芯片制程的前置层是重点，前置层的设备机器都非常昂贵，也是国产化需要突破的一个点。尤其是随着摩尔定律的发展及先进制程从7nm进一步向5nm推进，半导体晶圆制造道数明显增多，高洁净材料的价值量也将大幅提升。公司希望能够通过发展国产UHP超高纯应用材料，从代工、产品、 品牌到标准逐步实现技术实力精进，为半导体高端装备国产化的进程做贡献。”

上海硅产业集团股份有限公司执行副总裁、上海新昇及新傲科技董事长李炜博士以《全面实现国产大硅片自主可控》为主题发表了演讲。他表示：“全球硅片市场，硅片占集成电路材料最大的一个比例，不管半导体怎么发展，90%以上的芯片都在硅片市场做。135亿美元的硅片市场，撑起了五千多美元的半导体市场。硅片基本上处于最上游，属于集成电路的粮食。硅片需求量大，但是国内相关的供应却没有跟上，全球五大国际厂商，占据了全球市场份额90%。公司希望能够联手材料、设备厂商构成产业链的链条，带动半导体产业的发展。”

中国拥有最大的集成电路应用市场，集成电路的产业链很长，也集中了大量资金和优秀人才，产业链上下游之间的相互信任是发展的重要保障。零部件产业需要多年的学科积累，工艺积累，甚至是手艺和匠心的积累，联合半导体设备厂商协同创新是零部件产业进军半导体领域的关键。 

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