高度方向采用先进的LVDT线性位移传感器,该传感器因其结构为无接触式,使其具有无摩擦、无磨损等特点。
台阶高度重现性小于4Å。
垂直分辨率高达1 Å。
标配探针更换工具,保证探针更换安全快捷。
标配薄膜应力测试功能。
精简的Vision64 软件系统,结合智能结构, 具备可视化工作流程及各种自助设定功能,以满足用户快速并全面进行数据收集和分析。
并且很快就能计算出测量结果。
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